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    宇宙星課堂:關于干式真空泵配件的介紹

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    發布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機電 點擊:

    無油干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。


    2013年止,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。


    對于普通的無油真空系統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。


    應用

    干式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

    1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

    2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

    3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

    4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;

    5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

    真空泵廠家

    在許多工業過程中,例如真空過濾,真空分流,真空進料,真空蒸發,真空濃縮,真空回流和真空脫氣,水環泵已被廣泛應用。由于真空應用技術的飛速發展,水環泵在粗真空采集方面受到重視。由于水環泵氣體是等溫壓縮,可以除去易燃,易爆氣體,除灰塵外,還可以除水,因此水環泵的應用越來越多。在泵體內配合適量的水作為工作液。當葉輪順時針旋轉時,水被泵送在葉輪周圍,并且由于離心力,水形成大約等于泵腔厚度的閉環。水環下部的內表面與葉輪轂完全相切,水環的上內表面剛剛與刀片頂部接觸(實際上刀片在水環中有一定的插入深度)。


    此時葉輪轂與水環之間形成月牙形空間,并將此空間分為葉數和葉數相同的小腔。如果葉輪的下部以0°為起點,則葉輪在180°之間旋轉時,小腔體積從小到大,并與吸氣端連接,此時氣體為吸入,與吸入口隔離;當葉輪繼續旋轉時,空腔大大減小,使得氣體被壓縮;當小腔和排氣口,氣體將被排出泵外??傊?,水環泵是由泵室容積變化來實現吸氣,壓縮和排氣,因此屬于變容量真空泵。根泵在泵室內,真空泵中有兩個“8”形轉子需要前級泵。防腐泵的極限真空取決于泵本身的結構和制造精度,也取決于前泵的極限真空度。


    為了提高泵的真空極限,羅茨泵可以串聯使用。羅茨泵的工作原理就像羅茨鼓風機。作為轉子的連續旋轉的結果,泵從入口被吸入到轉子和泵殼體之間的空間v0中,并通過排氣口排出。由于空氣在v0空間完全封閉后,因此,泵室中的氣體不被壓縮和膨脹。 但當轉子的頂部通過排氣邊緣時,v0空間與排氣側的連通,由于排氣側的氣體壓力較高,則部分氣體返回空間v0至氣體壓力 突然增加 當轉子繼續旋轉時,氣體離開泵。

    本文網址:http://www.ursoap.com/news/344.html

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