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    淺談真空泵工作原理和類型選擇

    淺談真空泵工作原理和類型選擇

    發布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機電 點擊:

    干式真空泵以高效的產品運用能力,效果更優,逐漸開拓了市場,發揮了自身的優勢,原理簡單易懂,滿足大家的需求。干式真空泵運轉時,在電動機的驅動下,通過曲柄連桿機構的作用(旋轉運動轉變成直線運動),使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,左腔空間的壓強不斷的降低,當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強,根據氣體壓強平衡的原理,被抽容器內的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔,此時正處于吸氣過程。


    當活塞達到Z右位置時,氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時,此時排氣閥被打開,氣體被排出,完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時,重復上述循環,直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。干式真空泵原理簡單,使用優勢多,促進了產品的整體應用效果,開拓了應用市場。


    使用適當型號的干式真空泵解決了原有機械機械真空泵無法解決的兩大問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。


    二是由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。我公司產品型號齊全,大致可分為:

    1、雙圓裂片式。其設計和目前Z流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上,一些Z早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

    油式真空泵

    2、內部壓縮型螺桿式。除了使用一對非等距螺桿以外,內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。


    3、組合式(羅茨+爪)。設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其Z后一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。


    4、三葉圓裂片式。此種干式真空泵設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。


    5、外部壓縮型螺桿式。使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到Z小,同時使得氣體通路Z短也Z簡單。這樣,氣體在干式真空泵體內停留的時間也Z短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

    本文網址:http://www.ursoap.com/news/353.html

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