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    在干式真空泵的運行要留意其穩定性

    在干式真空泵的運行要留意其穩定性

    發布日期:2019-01-15 作者:宇宙星小編 點擊:

           2013年止,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。


           目前市面上的干式真空泵多用夾套冷卻水對轉子進行冷卻。而有的立式螺桿干式真空泵的冷卻系統更獨特,比如在泵內增加了螺桿內部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻,很好的維持內表面的溫度,不至于溫度過高或過低,始終維持在一個合適的溫度,以防被抽的熱敏性物質分解,及高溫易聚合的物質,比如宇宙星真空機電設備的干式真空泵就比較適合。

    干式真空泵

           現在,可以看到干式真空泵有著如此多的不同設計,它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來,使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低,影響到晶圓的生產和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計,同多級泵如圓裂片式,爪式以及組合式相比,其在零件的使用數量上減少了60%。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。


           干式真空泵如果是在初次試泵時卡住不能啟動和運轉,一般要考慮是不是在管路連接和安裝時有金屬異物(如螺絲、焊渣等)掉入泵內卡住轉子導致泵不能啟動和運轉。


           在正常使用期間,停泵以后無法再次啟動,一般是因為所抽氣體中的冷凝物料滯留在泵體內在常溫下凝固致使2個轉子之間以及轉子與泵體之間發生粘結而無法啟動,或者是因為所抽氣體中粉塵太多滯留泵體內擠住轉子不能轉動。如果發生真空泵不能啟動和運轉的現象,一般情況下先不要拆解泵體,有異物的可以試試人工反轉取出異物,使用后的泵可以試試用溶劑溶解處理,確實無法解決的再考慮拆解泵體進行清理。


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