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    關于干式真空泵的工作原理

    關于干式真空泵的工作原理

    發布日期:2020-07-25 作者:宇宙星 點擊:

    首先來講,我們其實也就是要注意就干式機械真空泵其實也就是會應用在了低壓化學氣相沉積當中的多晶硅制備工藝;再者,就干式機械真空泵其實也就是會應用了半導體刻蝕工藝。處于這些生產工藝當中,這時候,其實也就是會用到或者是生成腐蝕性氣體與相關的研磨微粒。

    干式真空泵

    再者,就干式機械真空泵的應用來講的話,除了半導體工藝之外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氲奖糜彤斨?,且希望微粒排出泵之外會用到此設備;就其處于化學工業、醫藥工業或者是食品工業當中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等,要注意去防止有機溶劑所造成污染,適合用干式真空泵。


    關于干式真空泵,它其實也就是我們常說的立式雙螺桿干式真空泵,就其吸氣與排氣原理與大多數是一樣的,這個時候,其實也就是可以直接的就利用一對螺桿,接下來講的話,它其實也就是會在泵殼當中來作同步高速反向旋轉而直接的就產生了吸氣與排氣作用上的抽氣設備。


    干式真空泵在進行工作的時候,就其相互之間其實也就是會沒有什么摩擦,運轉的時候其實也就是會比較的平穩,再者,就另外一個方面來講,對于它的噪音上其實也就是會比較的低,工作腔當中其實也就是會沒有什么潤滑油,也正是因為如此,就干式螺桿泵其實也就是可以抽除含有大量水蒸汽以及其少量粉塵。


    因為干式真空泵上的螺桿可以直接的就制成了變螺距結構,這個時候,它其實也就是會和等螺距結構進行比較,這個時候,我們其實也就是會注意到就其本身的極限真空上其實也就是會更高,就其消耗功率上其實也就是會更低,干式真空泵還具有節能以及其免維修等一系列的優點。


    本文網址:http://www.ursoap.com/news/535.html

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